コスモヴァクス株式会社

TEL/FAX077-543-3771

レアメタルや、セラミックス部品で高温真空装置の未来に寄与する

モリブデンやタングステン・タンタル等レアメタルやアルミナ等のセラミックスの特注品

高温真空装置部品の問題を解決する事例

半導体製膜装置部品

半導体の製膜装置のMBE・MO-CVD装置部品の基板ホルダー・プレート・シャフト等のホットゾーンの部品を始め耐薬品性を求められる所で使用されるパイプや固定台などの装置内部品を貴方の御希望に沿った形状や適正材質の御検討をさせて頂きます。

基板ホルダ-・基板プレート ・固定ピン・ボルト・ナット      
(無酸素銅・モリブデン・タンタル)
シャフト・パイプ関連 
(無酸素銅・インコネル・SUS・Mo) 

ヒーター・反射板・シャッター板
(W・Ta・Mo・インコネル)

ルツボ・試料台など
(Ta・Mo・カーボン・インコネル・SUS)
絶縁カラー・絶縁碍子・遮熱板・耐熱板
(アルミナ・マコール・ALN・BN・窒化アルミ‥・


超高温炉内・特殊装置内部品

真空中や、不活性ガス(水素・アルゴン・窒素)中で1000℃以上~2500℃)迄の高温下で使用されるホットゾーン部品で使用される部品を供給しています。

ヒーター・リフレクター(反射板)・防着板
 *タングステン・モリブデン・タンタル・SUS・INC
試料台・試料ケース・ルツボ・敷板
 *タングステン・モリブデン・タンタル・インコネル
覗き窓(サイトホール)やその他の備品等
 *タングステン・モリブデン・インコネル・銅・‥。
ガスケット・フランジ
 *無酸素銅・SUS304・SUS316L・ニッケル・‥。

真空蒸着関連部品(ボート・フィラメント)

真空蒸着用のボート・フィラメントやハースライナー等の消耗品やヒーター固定金具やホットゾーンの冶具などのご相談下さい。

・蒸着用スタンダードボート(Vタイプ・Uタイプ)
 *(タングステン・モリブデン・タンタル)
・蒸着用特殊ボート(昇華物:SiO等・ボックスタイプ)
 *(タンタル・モリブデン他)
・フィラメントワイヤー(抵抗加熱)
 *(タンタル・モリブデン他)
・ハースライナー・ルツボ(電子ビーム溶解用)

 *(タンタル・モリブデン・BN・タンタル・アルミナ・銅等)

 

制作事例

蒸着ボート・  
フィラメント

蒸着用のボート・フィラメントや防着部品に、絶縁部品など様々な対応ができます。

ハース・ルツボ

各種材料の溶解や昇温・昇華ルツボやハースライナー等の消耗部品

ICFフランジ・    ICFガスケット

真空チャンバーのICFフランジに対応した銅ガスケットやニッケルガスケットを供給しています。

色々な素材から選択

素材だけで無く、材料に適合した加工方法で御希望の用途に近ずける様に、ご提案しています。

高いクオリティーを保つための試行錯誤

切削・カット

フライス・旋盤などの切削加工だけでなく状況に拠ってはレーザーカットやワイヤー放電など仕上がりや要求条件に合わせてより安定した処理方法を模索します。

板金・溶接加工

精密な溶接板金加工で0.05tの箔の加工品から反射板や電磁シールド板などの用途や環境に対応して加工方法で最善を尽くします。

特殊設計・複合加工

半導体製造装置内の基板や固定冶具や特殊電極などの部品の絶縁部品を踏んだ形での御見積も可能です。

コスモヴァクスとは

社は真空中がガス雰囲気中で使用される高融点金属のモリブデン(Mo)・タングステン(W)・タンタル(Ta)を始めインコネルやニッケル等の金属とカーボンやセラミックス等の耐熱・断熱性を求められる部品を総合的に製作や仕様検討などのご相談を承っております。部品の素材で御困りの方や、あまり馴染みのない素材の加工検討など、お気軽に御相談をお願いします。

コスモヴァクスのできる事

代表取締役 村上 守儀
  • 希少金属を通じて常に新し価値の創造を提案します。
  • しい素材や技術及びサービスに取り組んで市場に提案します。
  • より豊かで安全な環境や社会の発展に貢献します。
  • 常に、目的に沿った製品を材料の特性を活かした物ずくりを探求します。
  • 希少金属を通じて常に新し価値の創造を提案します。
  • 希少金属を通じて常に新し価値の創造を提案します。

お客様の声

半導体製膜装置メーカー

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特殊材料のため、溶接や機械加工など気にしていましたが、製品の仕上がり非常に満足しています。真空装置の部品なので、品質や素材の信頼性も重要な為に信頼しています。

原料精製メーカー

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モリブデンの溶接は、非常に難しいのですが、どうしても気密性の必要な容器なので非常に心配していましたが、漏れの無く仕上がりもキレイで満足しています。

よくある質問

Q・部品が熱で溶けたり割れたりする?
A素材が使用されている環境に適しているか考えてみましょう。現素材を他に変えた場合のシュミレーションをしてみましょう。
Q図面は無くても見積りできますか?
Aもちろんです。その部品の使用条件や周辺部品と相性を考慮した上で、イメージ図や過去の使用済み品を基に改良改造のご相談させて頂きます。
Q
A素材が使用されている環境に適しているか考えてみましょう。現素材を他に変えた場合のシュミレーションをしてみましょう。
Q・部品が熱で溶けたり割れたりする?
A素材が使用されている環境に適しているか考えてみましょう。現素材を他に変えた場合のシュミレーションをしてみましょう。

会社概要

会社名 コスモヴァクス株式会社
住所 滋賀県大津市大江3丁目16番15号
電話番号 TEL:077-543-3771         
(FAX)077-543-3771
代表者  代表 村上 守儀
資本金 200万円
設立 2018年2月
設立 2018年2月